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ASML年底傳將出貨新款EUV曝光機NXE:3800E,一台至少4 ...
NXE:3800E曝光機今年底出貨的話,考慮到安裝、偵錯及生產的週期,未來台積電、三星會主要在2nm節點使用,而高NA孔徑的下一代曝光機要解決的是1nm及之後的 ...
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