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追光之旅: 你所不知道的同步輻射 - Google 圖書結果

... ultraviolet lithography, EUV)便被視為未來邁向1奈米元件的主流製程技術。 ... 且能微縮至原子尺度(小於1奈米)的電晶體材料,以突破晶片微縮化的3 奈米製程極限。

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