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DSA將成3奈米製程重頭戲默克持續加碼投資台灣 - 新電子雜誌

因此，挑選適合的沉積技術是實現新型晶片結構的關鍵。現階段所有許多類型的技術應用於氧化矽填洞技術，包括旋塗式介電(SOD)、流動式化學氣象沉積 ...

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