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3D 堆叠CMOS 将摩尔定律推向新高度 - 电子工程世界

该步骤称为垂直堆叠双源/漏极工艺，在顶部纳米带（未来的NMOS 器件）的两 ... 制造步骤并更严格地控制制造成本，这是我们在2019 年IEDM 上所报告的。

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