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重複性晶圓搬運效率探討A study of the efficiency in repetitive ...

200-mm 和300-mm 晶圓合適的搬運條件。實驗結果顯示，300-mm 晶圓(9.5 kg) 在搬運頻率2 次/分和 ... 滿載8 吋晶圓的是6kg 重，另一種滿載12 吋晶圓. 的是9kg 重。

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