A2 = Fw-f[Im – E f (E' f– Ff-f Ef )–1(In–Ff-f)] C= A1 –1A2 又 Tw 為晶圓溫度,C 為濃度,Tf 為石英 ... 圖 22 12 吋晶圓製造廠標準[10] 6 MCS MES 儲存室B 儲存室 A.
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