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12吋晶圓廠AMHS懸吊系統之強度分析

隨著晶圓進入12吋世代，25片裝的晶圓盒(FOUP)重量已達10公斤，人工搬運已無法再負荷，以及為了搬運的安全與效率，以及工廠佈置的空間考量，懸吊式的自動物料搬運 ...

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