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8寸和12寸晶圆厂的MES有多大不同？

与8寸晶圆相比，12寸晶圆尺寸更大，单lot重量约11kg，人工长期搬运对身体有损伤；另外，12寸晶圆厂的芯片制程多为90nm以下，人工搬运对产品良率影响 ...

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