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晶圓機器人-E系列

晶圓 傳送. 晶圓翻轉傳送. 藍寶石基板傳送. 雙臂型. 適用於2~12吋 ... 重量. 45-55 kg ( 不 制器). 淨度. Class 100 ( 可選配Class 10 / Class 1).

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