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12吋晶圓廠的自動化趨勢:AMHS, FOUP

已裝料的FOUP 重量接近10公斤，不能採用人工運輸。這?製造廠以AMHS而不是以人工運送材料?基礎進行佈局創造了商機。過去，工具存放在能夠縮短材料運送距離 ...

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