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快速評估12吋晶圓廠AMHS的模擬方法

12吋晶圓 廠由於晶舟重量上升導致自動化物料搬運系統（AMHS）的設計與運作變的相當重要。過去研究往往使用模擬來評估AMHS的績效，然而兩個問題油然而生。

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