圖 22 12 吋晶圓製造廠標準[10] 6 MCS MES 儲存室B 儲存室 A 4 跨生產中心承載座 1 ... 系統將整合晶圓帶走 E82, E84, E87, E102 4 將整合晶圓盒傳送至儲存室 A E82, ...
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