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臺灣12吋晶圓廠的展望與未來:DRAM,其他電子邏輯元件 - CTIMES

0.13微米的問題，包括光罩供應來源不足、光罩價格居高不下、上游IC設計易出現Crosstalk(串音效應)等問題；至於12吋製程，由於12吋晶圓面積過大，製程中難以維持平坦 ...

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