设计精度 K = 5 × 10 - m ;定位范围 Ad = 2.5 × 10 - m ; Adamas = 7.5 × 10m ;悬吊金属 ... 行程 100pm ,微动台摆杆长 L = 60mm ,材料硬铝,微 位移器为电致伸缩器件, ...
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