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半導體用光阻劑之發展概況

... 更多的3D-NAND；ArF光阻劑主要應用於DRAM記憶體，也用於多重圖案化(Multi-Patterning)之數位邏輯晶片；EUV光阻劑主要應用於7奈米以下之先進製程。

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