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微製程概論(IC 及TFT/LCD) - 遠東科技大學

7.蝕刻(etching). 8.擴散及植入(diffusion and drive in). 9.離子佈植(ion implantation) ... 國家奈米元件實驗室. ~10nm. 2000年. 2015年. 圖形取自Texas Instruments.

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