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新電子 03月號/2021 第420期 - 第 112 頁 - Google 圖書結果

如晶圓或玻璃的表面,其平均粗糙度約在1奈米(1nm)以下,而經過微蝕、清洗後,表面粗糙度稍微增加,如此可提高後續鍍膜的附著性。在製程設備中裝載晶圓的載具,經過機台不斷 ...

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