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半導體元件物理與製程─理論與實務 - 第 258 頁 - Google 圖書結果

... 由深次微米進入奈米世代,由於尺寸不斷縮小,一些物理極限,提高了製程的難度,如 1.閘極氧化物──在 90 奈米以下,閘極氧化物厚物將小於 16A,由於電子直接穿遂(direct ...

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