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興櫃又添新生力軍鋒魁科技搭上成長列車大吃半導體商機 - 信傳媒

... 真空幫浦(泵浦)，製成微縮下，例如3奈米以下至少需要5000台的真空幫浦。 ... 真空幫浦就無法運作，在半導體關鍵製程中，真空幫浦扮演重要角色。

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