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1 奈 米 以下製程
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1nm製程難了第二代EUV光刻機跳票三年價格貴出天際
ASML是全球唯一一家量產EUV光刻機的廠商,台積電、三星、Intel的7nm、5nm及未來的3nm、2nm皆需仰賴EUV光刻機,單台售價超過1億美元,成本極高。
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