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奈米與半導體產業計量研究室

等重要參數半導體奈米關鍵尺寸量測: 以原子力顯微鏡及電子顯微鏡等校正系統， ... 同時半導體業界在overlay的解析度要求已達到0.5奈米以下，而薄膜厚度已達1奈米以下， ...

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