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東京電子瞄準1奈米半導體設備加強外部合作 - 日經中文網
計劃在IMEC和ASML運營的荷蘭的研究所,搭配新一代EUV(極紫外)光刻設備使用。 現在採用EUV光刻設備、線寬為5奈米的半導體已實現量産。東京電子 ...
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