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1奈米以下製程
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https://books.google.com.tw/books?id=mRbIDwAAQBAJ&pg=PA72&lpg=PA72&dq=1%E5%A5%88%E7%B1%B3%E4%BB%A5%E4%B8%8B%E8%A3%BD%E7%A8%8B&source=bl&ots=EwxOTAH06K&sig=ACfU3U2cuPalNiVU8gIi97PaQaBOU8FeiQ&hl=zh-TW&sa=X&ved=2ahUKEwjzn5CT5L70AhUNNhoKHTmZDKsQ6AF6BQijAhAD
新電子 01月號/2020 第406期 - 第 72 頁 - Google 圖書結果
從材料工程來對7奈米(nm)先進製程,如何生產效能更高、耗電更少、面積更小, ... 看,針對電晶體接點與導線的重大金屬材料變革,是解除7nm以下先進製程效能瓶頸的關鍵。
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