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90/130奈米發展的瓶頸與挑戰:其他電子邏輯元件 - CTIMES

90奈米製程已為業者開發技術的下一個主流，但實際上130奈米仍有許多技術 ... 共同發表2010年半導體製程達到50奈米以下時，將會使用到的設備及技術。

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