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奈米與半導體產業計量研究室

提供半導體產業於先進製程檢測所需之關鍵尺寸量測，如先進製程之線距、線寬及超薄 ... 同時半導體業界在overlay的解析度要求已達到0.5奈米以下，而薄膜厚度已達1奈米 ...

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