525-401C. 解析度/. 測定範圍. X 軸( 橫向). 0.05 μm/100 mm. Z 軸( 縱向). 80 nm/5 mm, 8 nm/0.5 mm , 0.8 nm/0.05 mm. Z 2 軸上下移動行程. 300 mm(電動).
確定! 回上一頁