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鼎佳能源HPR系統通過SEMI S2驗證| 自動化產業| 商情 - 經濟日報

二、高效分離含有氮氣的氫氣，半導體製程中常含有30-50%氮氣，傳統製程分離效率不佳，鼎佳能源產品可將EUV排放的廢氫回收80%，同時將氫氣純化至99.999%與 ...

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