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EUV光刻的新“救星” - 硬件

台积电的代工报价自然水涨船高，12英寸3 nm晶圆每片报价约2万美元，可谓一骑绝尘 ... 近20年来，EUV光源、EUV掩模和EUV光刻胶一直是EUV光刻的三大技术 ...

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