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全方位微影技術介紹 - ASML

微影系統本質上是一個投影系統，利用光線穿透印有電路圖的光罩，在矽晶片上投印出 ... 為了能控制EUV極紫外光光源，並推動EUV微影系統商用化，20多年來，ASML持續投入 ...

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