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材料科學與工程學系 - 國立交通大學

本研究是先在矽基材上製作規則的凹槽陣列，接著將銅電鍍到這規則 ... 表3-1 各種材料的熱膨脹係數及熱傳導係數… ... 表4-1 各種阻障材料在不同厚度下的電阻係數…

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