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微光電實驗室 - 中央大學

4.潔淨台考核項目如下：. (1) 進出無塵室注意事項. (2) 黃光共同器具置放. (3) sample (破片)以有機溶液(例:ACE,IPA)洗淨過程. (4) spinner使用方法. (5) OM使用方法.

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