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黃光設備是什麼
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國教院跟風中國? EUV曝光機變「光刻機」 - 自由財經
... 最昂貴的黃光製程微影(Photolithography)設備極紫外光(EUV)曝光機, ... 為「光刻」,沿用至今;而依國教院調查確認,中國使用光刻此一名詞是 ...
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