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黃光製程實驗室 - 電漿與薄膜科技中心

本實驗室以進行黃光製程為研究重點，主要之配備為旋轉塗佈機、曝光機、加熱器。首先，通過金屬化過程，在基板上布置一層僅數奈米厚的金屬層。然後在這層金屬上覆上一層 ...

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