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缺陷檢測技術在液晶顯示器製造之應用 - 台灣儀器科技研究中心

的眼睛做缺陷或是污染物(例如微粒) 的檢查。可 ... 光學元件來取代操作員的眼睛，例如電荷耦合元件 ... 為了獲得穩定的檢測平台，半導體黃光製程所.

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