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EUV黃光微影技術介紹 - 銘乾的分享空間

然而，黃光微影技術所能製作的最小線寬與光源的波長成正比，因此，為了要得到更小的線寬，半導體黃光製程不得不改採波長更短的光源來做曝光。

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