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黃光膜 - 中文百科知識

黃光 膜的功能作用及適用範圍產品介紹：黃光室是進行IC晶片微影成像術的區域，將光阻 ... 對於0.3ūm線寬以下的IC製程，則需採用深紫外線（deepUV）248mm光源，甚至X光或 ...

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