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黃光製程工作內容
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電子材料 - 第 26 頁 - Google 圖書結果
黃光 的光波較長,大於 5000 ,使光阻劑曝光的效果很低,因此乃作為顯影前的照明光源。因光阻對於某種特定波長的光線特別敏感,故在黃光室中,要將一切照明光源過濾成黃色, ...
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