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以卡曼濾波器及最小變異控制器實現微影製程控制Process ...

曝光的技術很複雜，但基本的原理很簡單，與照相的原理很類似：首先先在晶片. 上塗上一層光阻(感光材料，作用如同底片)來自光源的平行光，經過光罩後，便投射. 在光阻上。

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