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黃光製程原理
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機械製造 - 第 16-6 頁 - Google 圖書結果
晶圓製程是屬於製造積體電路的前段製程,實際的生產線需包括下列所敘述的一連串操作步驟:一、微影 ... 採用偏黃色的可見光,故一般稱其工作區為黃光區。
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