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我只是個研究生──清華物理的4018個日子

但通常正光阻的製程會使圖形邊緣更平整好看,所以正光阻較常被使用。電子束微影的原理類似黃光製程,只是以電子束代替感光和光罩,以聚甲基丙烯酸甲酯( PMMA )作為正光阻 ...

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