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黃光製程原理- 製程實務林哲信教授 - hunoldag.ch

利用光線透過光罩照射在感光材料上，再以溶劑浸泡將感光材料受光照射到的部份加以溶解或保留。由於微影製程的環境是採用黃光照明而非般攝影暗房的紅光，所以這部份的製程常 ...

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