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深次微米矽製程技術 - 第 355 頁 - Google 圖書結果

後段製程、煅燒對鈦酸鍶鋇造成傷害-氫末端造成傷害後段製程( BEOL )電漿對鈦酸鍶鋇 ... 軟性錯誤( soft error ) ;有利於晶圓表面平坦化,改進後段黃光及蝕刻製程能力。

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