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CH 4 生產微機電元件之關鍵製程微影製程. - SlidePlayer

13 微影(lithography)簡介: 將光源透過有圖案的光罩(Mask)將光罩上的圖案完整的傳送到晶片表面所塗佈的感光材料(光阻Photoresist)上以便在晶片上完成圖案轉移. 基本製程有1 ...

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