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黃光製程傷害
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CF-黃光區的問題
主要為微影製程。 除了曝光機較難搞之外, 其他都還蠻好維修保養的。 並沒有用到乾蝕刻(電漿蝕刻)和氫氟酸HF ,反而覺得黃光安全多了用到的有機化學 ...
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