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光電科技研究所 - 國立臺灣師範大學

使用一般黃光製程的極限，是無法將線寬曝至奈米等級之理想值，故 ... 很明顯在光阻顯影時，光阻線. 寬被顯影劑衝撞所造成的傷害，在嚴重一點的話，甚至會有往內塌陷.

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