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國立臺灣大學工學院機械工程學研究所碩士論文微轉印技術之 ...

本論文主要研究內容包括：金屬黃光顯影蝕刻製程之開發、ITO 薄膜蝕刻 ... 了會對微結構尺寸與精確度造成傷害之外，許多製作OTFT 的文獻更指出可能影.

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