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Microsoft Word - 黃光室講義

黃光 室流程上HMDS => 上光阻(Spinner) => 軟烤(Soft Bake) => 曝光(EXP) => 顯 ... 名; 廢液及空桶請放入櫃內下方負光阻spinner 顯影負光阻製程可以用手動完成, 塗佈光 ...

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