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電著光阻 - 揚博科技

以電泳方式，將帶電荷且含有感光劑之高分子沉積於基板上，形成光阻薄膜. ... 應用於黃光製程線路塗佈，線寬/線距可控制於15μm/15μm，膜厚約為15μm ...

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