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光觸媒科技應用於微影製程技術的開發 - 元智大學

微影製程的目的在於將所設計出之圖案如電子電路等線圖轉移至基材上，以利於後續的元件製造加工。圖（1）為一般微影製程的示意流程圖，主要程序包括下列步驟： 1. 光阻劑塗 ...

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