黃光 室是進行IC晶片微影成像術的區域,將光阻材料利用旋鍍法(Spin Coating)披覆在晶圓上, ... 線寬以下的IC製程,則須採用深紫外線(deep UV)248nm光源,甚至X-光或電子束。
確定! 回上一頁